JB/T 7462—2005 熱陰極電離真空規(guī)管

JB/T 7462—2005 熱陰極電離真空規(guī)管

Hot cathode vacuum gauge head

本標(biāo)準(zhǔn)代替JB/T 7462-1994《熱陰極電離真空規(guī)管技術(shù)條件》。

本標(biāo)準(zhǔn)與JB/T 7462-1994相比，主要變化如下:

增加了第3章術(shù)語和定義:

增加了裸規(guī)的相關(guān)內(nèi)容;

增加并修改了引用標(biāo)準(zhǔn):

修改了規(guī)管的工作環(huán)境(見4.1);

增加了裸規(guī)的封裝要求(見4.3.2);

修改了檢驗規(guī)則的內(nèi)容(見第6章)

1、范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了熱陰極電離真空規(guī)管的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝與貯存等內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于中、高真空及超高真空(限于極限壓力不低于10乍a)熱陰極電離真空規(guī)管，包括玻璃規(guī)管和裸規(guī)。(以下簡稱規(guī)管)。

2、規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T 191 包裝儲運圖示標(biāo)志(GB/T 191-2000, eqv IS0780: 1997)

GB/T 2828.1 計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分:按接收質(zhì)量限(IQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃(GB/T2828.1- 2003, ISO 2859-1: 1999, IDT)

GB/T 2829 周期檢查汁數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的檢查)

GB/T 3163 真空技術(shù)術(shù)語

GB/T 6071 超高真空法蘭

GB/T 15464 儀器儀表包裝通用技術(shù)條件

JB/T 9329 儀器儀表運輸，運輸貯存基本環(huán)境條件及試驗方法

3、術(shù)語和定義

GB/T 3163確立的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

3.1、X射線極限值 X-ray limit

一種熱陰極電離真空計的X射線極限值為與主要由離子收集極發(fā)射的光電子產(chǎn)生的殘余電流所引起的相同讀數(shù)的純氮壓力值。

3.2、零散性scattered

規(guī)管系數(shù)的偏差。

3.3、裸規(guī)nude gauge

一種沒有外殼的規(guī)頭，其敏感元件直接插人真空系統(tǒng)。

3.4、漏率leak rates

在規(guī)定的條件下，一種特定氣體通過漏孔的流量，單位為Pa·L·s-1,

4、技術(shù)要求

4.1、工作環(huán)境

規(guī)管在下述環(huán)境條件下應(yīng)能正常工作:

a)環(huán)境溫度:0℃_.40℃:

b)相對濕度:成90% (25℃時)

4.2 外觀

a)玻璃規(guī)管外殼應(yīng)無裂縫或明顯的氣線、氣泡等缺陷;

b)規(guī)管內(nèi)壁與電極應(yīng)無污染與明顯的氧化現(xiàn)象;

c)規(guī)管外殼與管基之間的固定應(yīng)牢固。

4.3、連接

4.3.1、玻璃規(guī)管與真空系統(tǒng)連接部分的玻殼外徑應(yīng)為:15.5士0.5 mm;25士1 mm.

4.3.2 、裸規(guī)封裝結(jié)構(gòu)應(yīng)符合GB/T 6071的規(guī)定。

4.4 漏率

玻璃規(guī)管的漏率應(yīng)小于10-11Pa·m3·S-1。

裸規(guī)的漏率應(yīng)符合GB/T 6071的規(guī)定。

4.5、零散性

在壓力為10-2Pa時，中、高真空規(guī)管系數(shù)的零散不超過120%.超高真空規(guī)管系數(shù)的零散不超過士30%.

4.6、測f范圍

規(guī)管測量范圍的上限由規(guī)管非線性S'不超過20%所對應(yīng)的壓力確定:規(guī)管測量范圍下限由規(guī)管X射線極限值(Po)的10倍確定。