ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀的元件作業(yè)原理
1.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀的作業(yè)氣路（圖1）。
2.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀作業(yè)預(yù)備內(nèi)中（主動(dòng)外部校準(zhǔn)）
（1）預(yù)抽。合上檢漏儀電源電門(mén)，粗抽泵啟動(dòng)，輪回批示按鈕的綠色批示燈閃亮。
（2）當(dāng)初壓力達(dá)成設(shè)定值（大概5s后），P批示燈亮，分子泵啟動(dòng)，旋片式真空泵分子泵轉(zhuǎn)速達(dá)成畸形轉(zhuǎn)速大概須要2～3min，當(dāng)分子泵轉(zhuǎn)速達(dá)成畸形轉(zhuǎn)速時(shí)，分子泵轉(zhuǎn)速批示OK燈亮。同聲，真絲啟動(dòng)，真絲電門(mén)批示燈閃亮大概8s后，批示燈亮，真絲點(diǎn)亮。
（3）檢漏儀主動(dòng)標(biāo)定。AUTOCAL電門(mén)白色批示燈閃亮，那末沒(méi)有故障，多少秒鐘后綠色批示燈亮，外部漏孔通大氣。示意檢漏儀自檢實(shí)現(xiàn)，能夠作業(yè)了。3.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏內(nèi)中
（1）粗抽。按下遙控器上的輪回啟動(dòng)按鈕，粗檢閥4翻開(kāi)，遙控器右側(cè)壓力預(yù)示光柱上升。
（2）大漏檢測(cè)形式。那末按下粗檢按鈕，信以為真空達(dá)成6×102MPa時(shí)，分子泵排氣口閥6翻開(kāi)，遙控器旁邊光柱預(yù)示以后漏率。
（3）細(xì)檢形式。那末不按下粗檢按鈕，信以為真空達(dá)成2×10-4MPa時(shí)，粗檢閥4開(kāi)放，細(xì)檢閥5翻開(kāi)，遙控器左側(cè)光柱預(yù)示以后漏率。4.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室作業(yè)原理
質(zhì)譜室作業(yè)原理（圖2）。
質(zhì)譜室是用來(lái)檢測(cè)氦的分壓強(qiáng)。當(dāng)質(zhì)譜室內(nèi)的總壓強(qiáng)（真空度）＜10-6MPa時(shí)，水解室中由鎢絲制成的真絲啟動(dòng)，加熱后產(chǎn)生高速電子轟擊離子源中的氣體分子，使分子水解。大全體的氣體分子都能變成離子，離子在磁場(chǎng)中被（減速電壓）減速，從而進(jìn)入與其垂直的偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，相反品質(zhì)數(shù)的離子其偏轉(zhuǎn)半徑相反。減速電壓使得氦離子能夠打到放大器的出口（電子加倍器），從而檢測(cè)出氦離子流的強(qiáng)度，氦離子流與容器內(nèi)的氦分壓成反比，因而對(duì)氦離子的測(cè)量能夠確定被檢件的漏率。
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