靜態流導法校準真空計的步驟

靜態流導法校準真空計的步驟
靜態流導法有時也稱為靜態流量法和小孔法校準，它是構建在氣旋陸續性原理、分子流狀態和等溫條件根底上的，因為是靜態校準，吸氣和放氣的莫須有很小。在分子流狀態下，流導公為構造多少何尺寸的因變量，與壓力無干。其校準上限隨真空失掉和小流量測量程度而蔓延。是眼前超高真空和極高真空的切實可行的校準步驟。
靜態流導法校準原理是依據氣體分子靜止論原理，利用薄壁小孔作規范流導產生已知工業氣壓力的。
圖30：靜態流導法校準真空計的步驟
圖30是這種校準步驟原理示用意。率先將校準室壓力抽至校準壓力上限以次2～3個單位級，那樣劃算校準壓力時可疏忽本底的莫須有。校準氣體以穩固流量pG經過針閥K，由進上呼吸道注入校準室。氣體以分子流流經一薄壁小孔并由真空零碎抽除。在達成靜態失調時，在小孔上方的校準室構建起已知的工業氣壓力p，用它來校準真空計G。校準室的壓力可由式29劃算。
因為零碎的無效抽速比小孔流導大很多，故使得小孔上游的壓力戶。遠小于校準室壓力p，那樣小孔上游壓力測量值誤差對校準壓力的莫須有很小。因而，只有依據校準氣體流量qG、小孔流導C和小孔上游壓力pb，就能夠劃算出校準室壓力來。
校準氣體的流量qG由流量表測量。流量規模為10-7～10-3Pam3s-1，其測量精度可達士O.5％，壓力校準規模是10-5～lO-1Pa。
因為很難測定微弱的流量，也就間接制約了校準壓力上限。采納分流的方法，能擴大壓力校準上限，這就是二級靜態流導校準法。與真空計校準有關的篇章：真空計校步驟準概述動態收縮校準低真空計步驟靜態流導法校準真空計的步驟規范壓縮式真空計比對校準真空計的步驟

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